截至3月2日，半导体设备ETF易方达近1年净值上涨73.57%，排名可比基金前2，指数股票型基金排名147/3543，居于前4.15%。从收益能力看，截至2026年3月2日，半导体设备ETF易方达自成立以来，最高单月回报为25.48%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为57.31%，涨跌月数比为13/7，上涨月份平均收益率为10.56%，年盈利百分比为100.00%，历史持有1年盈利概率为100.00%。截至2026年3月2日，半导体设备ETF易方达近1年超越基准年化收益为0.71%，排名可比基金前2/5。
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